동부일렉트로닉스가 90나노 반도체 공정에 사용되는 광학근접보정(OPC) 기술을 개발했다.
동부일렉트로닉스는 28일 세계적인 반도체 설계 소프트웨어 회사인 미국 멘토사와 제휴해 500만달러를 투자, 90나노급 제조공정 기술에 적용할 수 있는 OPC 기술을 개발했다고 밝혔다. OPC 기술은 반도체 제조공정 중 전기적 설계회로를 실리콘 웨이퍼 기판 위에 그려 넣는 포토공정에서 발생하는 왜곡현상을 보정하는 기술이다.
동부일렉트로닉스의 한 관계자는 "OPC 기술을 이용해 반도체를 제조할 경우 제조공정상의 오류를 최소화해 1년 이상 걸리는 공정기술 개발시기를 최대 6개월 이상 단축시킬 수 있다"며 "이를 통해 양산시기를 앞당기는 것은 물론 생산수율 향상, 제조원가 절감이 가능할 것"이라고 설명했다.
