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교육과학기술부ㆍ한국과학재단ㆍ서울경제신문이 공동 주관하는 ‘이달의 과학기술자상’ 8월 수상자로 대면적 나노 임프린트 공정과 응용기술을 개발한 이응숙(50ㆍ사진) 한국기계연구원 나노기계연구본부장이 선정됐다. 교과부는 6일 이 본부장이 21세기 프론티어연구개발사업 지원과제인 ‘대면적 나노 임프린트 공정 및 응용기술 개발’을 통해 50나노미터급 나노 임프린트 공정기술을 개발했다고 선정이유를 밝혔다. 나노 임프린트는 나노미터급 초미세 환경에서도 반도체 기판회로를 찍어낼 수 있는 핵심 기술이다. 이 본부장은 “대면적 나노 임프린트 공정을 사용하면 기존 나노 임프린트 공정보다 10배 이상 공정속도를 향상시켜 공정단가와 장비단가를 50% 이상 낮출 수 있다”고 말했다.
