|
가하는 반도체·FPD(평판디스플레이)·LED·솔라셀 등 첨단산업에 쓰이는 검사·측정 장비와 모듈을 개발하는 회사다. 특히 마이크로·나노급 3차원 정밀 측정·검사기기 분야에서 독보적인 기술력을 가지고 있다.
현재 가하는 산업통상자원부의 '첨단연구장비개발사업' 과제에 참여, 대면적·고분해능 3차원 형상 측정 장비를 개발하고 있다. 대면적·고분해능 3차원 형상 측정장비는 SICM(Structured Illumination Confocal Microscopy:고해상도 공초점 현미경)과 SPCC(Single Point Chromatic Confocal)를 이용, 서로 다른 특성을 갖는 이종의 프로브(측정·계측을 위한 침상 전극)에서 데이터를 취득한 후 이를 융복합해 오차를 최소화하는 장비다.
반도체·FPD·LED처럼 미세한 형상을 집적하는 공정이 있는 제품은 이같은 정밀 3차원 측정이 필수다. 글로벌 측정 장비 트렌드도 프로브간 융복합을 통한 통합 데이터 추출이 주요 기술로 떠오르고 있다. 대다수 기술 선진국에서는 이종 프로브를 하나의 플랫폼에서 융합한 3차원 측정기기들이 속속 출시되며 시장을 넓혀가고 있다. 이에 따라 가하도 시장 패러다임의 변화에 발맞춰 관련 기기 개발에 나선 것이다.
이번 과제의 핵심은 두 가지. 저속·고분해능 프로브와 고속·저분해능 프로브를 각각 개발하는 것과 이들을 하나의 플랫폼에서 운영하며 대면적·고분해능 3차원 데이터를 획득하는 것이다.
가하는 이미 데이터 융복합 기술을 확보, 관련 특허를 출원했다. 또 이미 상용화한 공초점 레이저 현미경에 신기술을 접목해 기존 제품 대비 횡방향 분해능을 30% 이상 개선했다. 나아가 이번 과제 수행을 통해 색수차 현미경을 기반으로 하는 관련 기술을 독자적으로 개발하면서 수입대체는 물론 수출에도 기여할 것으로 보고 있다. 박준호(사진) 대표는 "이번 R&D를 통해 CLSM 기술과 색수차 현미경 광학 기술을 확보하면서 다양한 분야에 응용할 수 있게 됐고 연관 기술 확보로 매출 확대와 고용창출도 기대된다"고 말했다.
