한국디엔에스, 삼성전자등 공급반도체 제조장비 전문업체인 한국디엔에스(대표 박창현ㆍwww.kdns.co.kr)가 국내 최초로 자체 개발에 성공한 차세대 300㎜ 웨이퍼용 전공정 포토설비인 스피너(모델명K-SPIN12)를 내달초 삼성전자에 공급한다고 31일 밝혔다.
스피너는 반도체 제조의 꽃이라 불리는 포토공정(Photo Lithography)에 사용되는 핵심설비로 웨이퍼 표면에 고집적 미세회로를 형성하기 위해 감광액을 도포하고, 노광후 형성된 패턴을 현상하는 설비다.
지난 3년간 총 개발비 100억원이 투입, 제작된 K-SPIN12는 코터와 디벨로퍼 영역을 차단하는 상하 적층구조로 각각의 영역에 별도의 베이크 유니트와 반송로봇을 배치하는 새로운 개념의 구조를 도입, 상호간 환경영향 최소화 및 생산성 향상을 실현했다.
특히 이 제품은 1G급의 집적도를 결정하는 회로선폭의 품질향상을 위해 멀티존 히터방식을 채택, 핫플레이트의 온도 균일도를 기존의 제품보다 두배 이상 향상시켜 세계 최고의 성능을 갖게 됐다고 회사측은 설명했다.
이밖에도 256M급 및 1G DRAM급 차세대 공정에서 요구되는 케미컬 오염관리, 난반사 억제용 ARC 코터 유니트, 고정도 베이크 유니트 등이 추가로 장착됐다.
박창현 한국디엔에스 사장은 "이번 K-SPIN12의 개발로 300㎜용 차세대 반도체 장비의 라인업 생산체제를 갖추게 됐다"며 "국내외 대부분 소자업체들이 300㎜ 웨이퍼 양산 및 신규투자에 본격적으로 들어가는 내년부터 대당 30억원에 달하는 이 장비를 공급해 스피너 시장에서만 약 800억원 이상의 매출을 올릴 수 있게 됐다"고 말했다.
지난해 1,126억원의 매출을 달성한 이 회사는 올해중을 목표로 코스닥 등록을 추진하고 있다. (041)620-8100
조충제기자
