주성엔지니어링(대표 황철주)은 과학기술부와 산업자원부가 공동으로 추진하는 반도체 제조공정 건식 식각장치 연구개발자로 선정됐다고 17일 밝혔다.
건식 식각장치는 반도체의 웨이퍼 전자회로 표면처리시 화학용품을 사용하는 습식과 달리 플라즈마 방식으로 전자회로를 깎아내는 장치이다.
이에 따라 주성은 현재 진행중인 차세대 공정용 에칭장비 개발에 박차를 가하게 되었으며 그동안 주력했던 반도체 및 LCD용 장비뿐 아니라 에칭장치에서도 기술력을 인정받는 계기를 마련했다.
<정민정기자 jminj@sed.co.kr>
