AKT코리아, 5세대 CVD 출시
에이케이티(AKT)코리아(대표 이한수)는 제5세대 TFT-LCD(thin film transistor liquid crystal display,초박막액정표시장치)에 적합한 생산 시스템(제품명: AKT 10K CVD)을 개발했다고 25일 밝혔다.
이 시스템은 저온 폴리 실리콘 CVD 챔버 기술로 1평방미터 크기의 유리 기판 위에 각종 실리콘 및 이산화실리콘을 증착시킬 수 있도록 한 것이 특징이다.
회사측은 대형 기판 제작 능력을 갖춘 이 AKT 10K CVD시스템은 이미 몇몇 업체가 선택해 양산중인 700mm×900mm급 크기의 기판을 사용하는 것 보다 15인치급 평판 디스플레이의 경우는 100%, 17~21인치급 평판 디스플레이의 경우는 50%가량 생산성을 늘릴 수 있다고 설명했다.
특히 5개가 표준인 공정실을 6개까지 확장할 수 있도록 개발 되었으며 공간 절약을 위해서 시스템의 진공반송실(Transfer Chamber) 크기를 새로운 로봇 디자인과 함께 최소화했다고 덧붙였다.
이한수 사장은 “이 시스템은 시간당 최대 50매정도의 원판 글라스를 처리할 수 있도록 개발되었으며, 각 TFT LCD 생산업체의 생산력 향상과 원가 절감에 크게 기여할 것”이라고 말했다. (02)589-3624
/홍병문기자goodlife@sed.co.kr
입력시간 2000/10/25 19:36
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