“우리 센터를 통해 기업이나 개별 연구자들은 그동안 확보하기 어려웠던 고가의 나노연구 장비와 시설을 보다 쉽게 이용하고 공동연구도 가능해졌습니다.”
16일 대전 KAIST에서 ‘나노종합연구(Fab)센터’ 신축건물 준공식을 갖는 이희철 소장은 “나노종합연구센터가 나노기술 선진국 진입을 위한 핵심 인프라 역할을 담당할 것”이라고 강조했다.
나노연구센터 구축사업은 지난 2002년에 시작됐으며 이번 나노종합연구센터(www.nnfc.com)를 포함, 현재 지역별로 5개의 센터가 건설되고 있다.
나노종합연구센터는 주로 실리콘계 반도체 제조 관련 업체들을 대상으로 10㎚(나노미터ㆍ10억분의1ｍ) 이하의 초미세 패턴을 형성시킬 수 있는 전자빔(E-Beam) 장비와 나노구조 분석용 초미세 시편제작이 가능한 집속 이온빔(FIB) 장치 등 원천기술ㆍ나노공정ㆍ나노소자 개발에 필요한 다양한 최첨단 장비를 갖추고 있다. 오는 2011년까지 설비확장에 총 2,900억원이 투입될 예정이다.
이 소장은 “이번 종합연구센터 오픈으로 초기의 아이디어 검증에서부터 시제품 제작에 이르기까지 폭넓은 서비스가 가능하게 됐다”며 “또 나노반도체 소자, 미소전자기계시스템(MEMS), 나노바이오칩 제작공정이 한곳에서 일괄적으로 이뤄지게 돼 나노 관련 융합기술에서 세계적인 경쟁력을 확보할 것으로 기대된다”고 말했다. 이 소장은 89부터 KAIST 전자전산학과 교수로 있으며 지난해 5월 나노종합연구센터의 초대 소장으로 선임됐다.
