주성엔지니어링은 유지보수가 간편한 기판 얼라이너 등에 대한 중국특허를 취득했다고 26일 공시했다.
이번 특허는 유지보수 시간을 단축시킨 기판 얼라이너에 관한 특허로 반도체, 솔라셀ㅁ(Solar Cell), FPD 장비사업의 경쟁력 강화에 활용될 전망이다.
주성엔지니어링은 또 트랜지스터 및 그 제조 방법에 관한 중국특허도 취득했다고 밝혔다. 트랜지스터 특허는 캐리어 이동도를 향상시킨 트랜지스터 및 그 제조 방법에 관한 특허로, 반도체 장비사업의 경쟁력 강화에 활용될 것이라고 회사측은 설명했다.
