원익QNC가 탄화규소 소재 제조 방법에 대한 국내 특허를 취득했다고 25일 공시했다. 해당 특허는 상압소결방식을 이용한 저저항 탄화규소세라믹(SiC) 소재 및 제조방법이다. 회사 측은 “반도체의 드라이에처 공정용 부품이나 저항특성·플라즈마 내식성이 필요한 세라믹 부품에 활용할 계획”이라고 설명했다. /유주희기자 ginger@sedaily.com
