위지트, 디스플레이 불량 줄이는 표면 처리법 특허 취득

코스닥 상장기업인 위지트(036090)는 14일 액정표시장치(LCD) 화학기상증착장비(CVD) 쳄버(일종의 튜브)내부에 설치하는 서셉터(지지대) 표면 처리 방법에 대한 국내 특허를 취득했다고 공시했다.

이 특허는 서셉터 표면에 요철이 일정 깊이 이상 형성되어 기판이 균일하게 가열되며 제품의 불량을 방지할 수 있다. 그 밖에 서셉터와 기판의 접촉 면적을 줄여서 양자 간 정전력을 낮춰 기판과 서셉터를 잘 분리할 수 있게 한다.



이 특허는 디스플레이 패널의 대형화로 발생하는 온도 불균일과 탈부착 불량으로 인한 파손을 줄일 수 있다고 위지트 측은 설명했다.