정승일 산업통상자원부 차관이 20일 SKC 천안공장을 방문해 반도체 공정의 핵심 소재인 블랭크 마스크 국산화 현장을 점검했다.
SKC는 일본에 90% 이상 의존했던 하이엔드급 블랭크 마스크의 국산화에 성공, 올 하반기부터 상용화할 계획이다. 블랭크마스크는 반응시키는 빛의 파장에 따라 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF), 극자외선(EUV)용으로 구분되며 ArF와 EUV가 하이엔드급이다.
이 제품은 정부가 분류한 대(對)일본 수입 상위 20대 핵심 소재·부품·장비 품목에 속한다. 20대 품목은 2021년까지 공급안정성을 확보하는 것을 목표로 국내 생산 확대, 기술개발, 수입국 다변화 등을 추진 중이다. 나머지 80대 품목은 올해 1조2,000억원 규모의 연구개발(R&D) 지원을 추진하고 공급선 다변화 등을 통해 기본적인 공급안정성을 확보할 계획이다.
정 차관은 “소재·부품·장비 기술력 강화, 건강한 산업생태계 구축 등 확실한 변화를 위해 정부, 수요·공급기업 간 긴밀한 협력이 중요하다”며 “조기성과 창출을 위해 소재·부품·장비 100대 핵심 품목의 상용화에 올해 2,100억원 이상을 집중적으로 지원하겠다”고 말했다.
/세종=김우보기자 ubo@sedaily.com
