나노종합기술원은 코로나19 방역을 위한 비접촉식 온도측정 수요가 폭증하면서 템퍼스와 체온계용 적외선 온도센서의 대량양산 기술개발을 공동으로 추진해 왔고 양산에 성공했다고 17일 밝혔다.
양산에 성공한 비접촉식 온도 측정용 적외선 센서는 국내 최초로 반도체 호환공정을 적용해 높은 수율 확보가 가능하고 공정단순화로 가격경쟁력을 획기적으로 높인 것이 가장 큰 장점이다.
마이크로 적외선 센서는 그동안, 미국, 독일 등 해외 선진국이 사실상 독점해 왔는데 템퍼스와 나노종기원이 공동개발을 통해 MEMS(미세기계전자시스템)기반 공정에 CMOS(반도체 제조공정)을 접목해 생산성을 획기적으로 향상시켰고 경쟁사 대비, 감도가 3~5배 우수한 특성을 확보했다.
최근 코로나-19로 인한 방역에 필수적인 비접촉식 체온계의 수요가 폭발적으로 증가함에 따라 중국 등 아시아, 미국, 유럽 등 해외에서 구매문의가 크게 늘고 있는 추세이며 이미 500만개의 온도센서를 국내·외 체온계 제작기업에 납품 완료했다. 최근에는 온도센서와 독자 제작한 비접촉식 체온계에 대해 미국 식품의약국(FDA)의 공식 인정을 받아 본격적인 미국 수출을 앞두게 됐다.
템퍼스 신백규 대표는 “적외선 영역 1~25㎛ 파장대까지 검출할 수 있는 템퍼스의 적외선 센서 기술력과 반도체 및 센서 공정기술지원이 가능한 나노종기원의 협업을 통하여 제품양산과 다양한 어플리케이션의 확대가 가능하게 됐다”며 “국내·외 비접촉 체온계시장을 적극 공략할 계획”이라고 밝혔다.
한편 나노종기원은 자체 개발한 핵심공정기술을 중소 센서기업인 트루윈에 이전하고 공동으로 양산기술을 개발한 이후 양산단계까지 지원해 지난 3월에 ‘적외선 열영상 센서’ 상용화에 성공한 바 있다. 트루윈이 양산·판매중인 센서와 적외선 영상 카메라는 코로나-19로 인한 국내·외 수요 증대로 올해 약 145억원의 매출이 예상된다.
/대전=박희윤기자 hypark@sedaily.com
