과학기술정보통신부는 중소기업인 템퍼스가 나노종합기술원과 공동으로 마이크로 적외선센서를 개발했다고 17일 밝혔다. 또한 국내 최초로 반도체 호환공정을 적용해 높은 수율로 해당 센서를 양산할 수 있게 됐다고 설명했다.
마이크로 적외선 센서는 서로 다른 두 금속의 접촉 부위 온도 차이가 나면 열전기력이 발생하는 원리를 이용해 인체감지에 유리한 원적외선을 검출하는 온도측정 감지장치다. 이번에 개발된 감도는 기존 경쟁사 제품보다 3~5배 우수한 것으로 전해졌다. 고수율의 제품 양산을 위해 미세기계전자시스템(MEMS)기반 공정과 반도체 제조공정(CMOS)가 접목됐다. 공정 자체도 단순화돼 제품의 가격경쟁력이 향상됐다는 게 과기정통부의 전언이다. 신백규 템퍼스 대표는 “적외선 영역 1~25㎛ 파장대까지 검출할 수 있는 템퍼스의 적외선 센서 기술력과 반도체 및 센서 공정기술지원이 가능한 나노종기원의 협업을 통하여 제품양산과 다양한 어플리케이션의 확대가 가능하게 됐다”고 소개했다.
이번 성과에 앞서 나노종기원은 반도체 수율 제고 및 초소형화를 위해 자체 개발한 핵심공정기술을 중소 센서기업인 ㈜트루윈에 이전해 양산기술을 공동 개발하기도 했다. 이를 통해 지난 3월에 ‘적외선 열영상 센서’ 상용화를 성공시켰다. 트루윈이 양산·판매중인 센서와 적외선 영상 카메라 매출은 코로나19 사태로 인한 수요 증가로 올해 약 145억원에 달할 전망이다.
