한국표준과학연구원 가스분석표준그룹 산업용독성가스분석표준팀이 불화수소 품질평가를 진행하고 있다./사진제공=한국표준과학연구원일본의 수출규제로 국산화 전환이 한창인 반도체용 고순도 가스인 불화수소에 대한 품질평가가 국내에서 이뤄지게 된다. 공인된 품질평가가 이뤄지게 되면서 국내 기업들의 국산 소재 활용이 더욱 가속화 될 전망이다.
한국표준과학연구원(KRISS)은 국산 불화수소 등 반도체용 고순도 가스 소재에 대한 품질평가 설비를 완공했다고 22일 밝혔다.
표준연은 일본의 반도체 소재 수출 규제에 대응하기 위해 지난해 8월부터 설비 구축을 추진해왔다. 분석 장비비 8억, 시설 구축비 7억 등 긴급 자체 예산 15억을 들여 반도체용 고순도 가스의 신뢰성 검증 실험실을 완공했다. 표준연은 앞으로 약 20종에 대해 시험검사 서비스를 진행할 예정이며, 가장 먼저 불화수소에 대한 품질평가를 시작한다.
불화수소는 반도체 웨이퍼의 세정과 식각공정에 사용된다. 반도체의 제조 수율을 높이기 위해서는 고순도 불화수소가 필요한데, 현재 쇼와덴코·모리타·스텔라 케미파 등 일본 업체가 세계시장을 독점하고 있다. 이로 인해 지난해 일본은 한국에 대한 수출규제 품목에 불화수소를 포함 시켰다.
하지만 지금까지 국내 고순도 불화수소의 순도 검증법은 업체별로 달라서 표준화돼 있지 않아 국산화에 어려움이 있었다. 이번 실험실 구축을 통해 반도체용 고순도 가스에 대한 신뢰성 있는 시험 결과를 제공할 수 있게 됐다고 표준연은 설명했다. 이번 서비스 시행으로 불화수소 개발 업체는 표준연 분석 결과를 바탕으로 자사 제품의 부족한 점을 개선할 수 있게 됐다.
표준연은 표준 시험절차서 개발을 2021년 상반기에 완료하고, 20여 종의 가스 소재에 대한 분석법 개발을 연차적으로 진행할 예정이다.
박현민 표준연 원장은 “2019년 하반기부터 ‘일본 수출규제 적극대응 위원회’를 운영하며 소재, 부품, 장비에 대한 신뢰성 평가기술 등을 지원해 왔다”라며, “표준연이 가진 세계 최고 수준의 측정기술을 바탕으로 관련 산업의 국가 경쟁력 향상에 이바지하겠다”고 말했다.
