일본 스미토모화학이 국내 자회사 동우화인켐을 통해 불화아르곤 이머전(ArFi) 포토레지스트 현지화에 나선다.
1일 일본 반도체 소재 회사 스미토모화학은 한국에 ArFi 포토레지스트 생산 설비를 구축하기 위해 1,000억원을 투자한다고 밝혔다. 2024년 상반기 양산을 목표로 전북 익산에서 운영 중인 자회사 동우화인켐에서 증설을 진행한다.
포토레지스트는 빛으로 반도체 회로를 반복적으로 찍어내는 노광 공정을 하기 전 웨이퍼 위에 반드시 도포하는 액체 소재다. 지난 2019년 일본 정부는 대법원의 강제 징용 배상판결을 트집잡아 최첨단 극자외선(EUV) 공정에 필요한 포토레지스트 수출을 규제했다. 포토레지스트는 일본 회사들이 세계 시장에서 압도적인 점유율을 차지하고 있는 품목이다. 스미토모화학은 일본 수출 규제 사태 이후 고객 수요에 맞춰 포토레지스트 현지화를 꾸준히 검토해온 것으로 보인다. 그간 동우화인켐은 i-라인, 불화크립톤(KrF) 포토레지스트 등 비교적 로우 엔드용 소재를 국내 반도체 회사에 공급해왔다.
그러나 이번에 이들이 갖추게 될 ArFi 포토레지스트는 메모리, 파운드리 공정에서 가장 범용으로 쓰이는 포토레지스트다. 이번 투자로 동우화인켐의 생산 기술 고도화는 물론 삼성전자· SK하이닉스의 공급망, 국내 첨단 반도체 소재 생태계 강화 등 일거양득의 효과를 거둘 수 있을 것으로 보인다.
또 스미토모화학의 생산 현지화로 JSR, 신에츠 등 그간 국내 투자가 미미했던 일본 포토레지스트 업체의 국내 투자도 이어질 수 있을지에 관심이 쏠린다. 일각에서는 동우화인켐이 ArF 포토레지스트 설비 구축 외에도 EUV용 포토레지스트, EUV 린스액 등 EUV 소재 현지화에도 박차를 가하고 있다는 얘기도 들린다.
