삼성전자와 SK하이닉스가 투자한 미국 극자외선(EUV) 포토레지스트(PR) 업체 인프리아를 일본 소재 강자 JSR이 인수했다. 인프리아는 기존에 업계에서 시도되지 않았던 무기물 기반 EUV PR을 만드는 전도유망한 소재 회사다. 이미 EUV PR 시장에서 90% 이상 점유율을 차지해온 일본의 EUV PR 기술 영향력이 강화되고 삼성전자와 SK하이닉스의 EUV PR 공급망(SCM)에 적잖은 변화가 있을 것으로 예상된다.
17일 업계에 따르면 일본 JSR은 미국 EUV PR회사 인프리아 지분 79%를 인수한다고 발표했다. 이 회사는 지난 2017년과 2020년 두 번의 투자로 인프리아 지분 21%를 소유하고 있었지만 이번 인수로 100%를 확보하게 된 셈이다.
이번 JSR의 인프리아 인수는 세계 EUV PR 시장에 상당한 파급력을 줄 것으로 보인다. EUV PR은 빛으로 웨이퍼 위에 회로 모양을 반복적으로 찍어내는 노광 공정에서 반드시 필요한 소재다. 오랜 소재 결합 노하우를 바탕으로 JSR·신에쓰화학 등 일본 기업들이 강한 면모를 띠고 있다. 2019년 일본이 대법원 강제징용 판결을 트집 잡아 한국을 상대로 수출을 금지한 품목으로 잘 알려져 있다.
인프리아는 2007년 설립된 미국 EUV PR회사다. 이 회사는 기존 EUV PR과는 차별화한 촘촘한 원천 특허 기술로 소재를 만든다. 특히 PR을 구성하는 분자 크기가 기존 유기물 기반 PR보다 약 5분의 1 작은 무기물 기반 PR이기 때문에 노광 시 훨씬 정교하면서도 단단하게 회로를 형성한다. 인프리아 무기물 PR 기술은 3나노 이하 반도체 시대에서 초미세 회로를 형성하기 위한 전도유망한 기술로 주목 받아왔다. 삼성전자와 SK하이닉스는 물론 TSMC 등 내로라하는 반도체 칩 제조사들이 이 회사에 투자했다.
JSR은 우선 특수목적법인(SPC)을 설립한 뒤, 기존 인프리아 주주에게 현금을 지급하는 형태로 인프리아 지분을 100% 확보한다. 주주 리스트에 삼성전자, SK하이닉스, TSMC 등이 포함될 것으로 추측된다. JSR이 밝힌 인프리아의 기업 가치는 5억1,400만 달러(약 6,000억 원)다.
이번 인수로 향후 국내 EUV PR 공급망에 어떤 영향력이 있을지 관심이 쏠린다. 일본 수출 규제 이후 일본 도쿄오카공업(TOK), 미국 듀폰, 스미토모화학 등이 EUV PR 생산 현지화에 나서고 있지만 여전히 JSR·신에쓰 등 일본 주요 업체들의 일본 내 생산량과 시장 영향력은 상당하다.
차세대 EUV PR 원천 기술까지 일본 최대 EUV PR 업체가 거머쥐면 향후 글로벌 반도체 시장에서 일본 업체의 첨단 소재 영향력이 더욱 커질 것으로 전망된다.
