SK하이닉스가 제9회 산학연구과제 우수발명 포상을 실시했다. 하용수(왼쪽부터) SK하이닉스 특허개발기획 PL, 수상자인 이호준 부산대학교 교수, 김준수 SK하이닉스 R&D전략기획 TL 등이 우수발명 포상 후 기념촬영을 하고 있다./사진 제공=SK하이닉스SK하이닉스는 ‘제9회 산학연구과제 우수발명’ 포상을 실시했다고 2일 밝혔다.
이번 포상에서 최우수상은 이호준 부산대 교수가, 우수상은 노삼혁 울산과학기술원 교수, 장려상은 박찬혁 애화여대 교수, 노원우 연세대 교수, 전정훈 성균관대 교수가 받는다.
이호준 교수는 ‘이온 소스 헤드 및 이를 포함하는 이온 주입 장치’ 특허로 최우수상을 수상했다. 이 특허는 고진공, 저유량에서도 고주파 플라즈마를 생성할 수 있는 것이 장점이다. 기존 대비 플라즈마 효율을 향상시키고, 이온 소스 사용주기를 2배 이상 개선해 비용을 절감할 수 있다.
SK하이닉스는 산학협력 대학교가 연구과제 수행과정에서 출원한 특허 중 우수특허를 선별해 연구자의 사기를 북돋우고 개발을 장려하기 위해 2013년부터 매년 포상식을 열고 있다.
올해는 코로나19 사태로 인해 SK하이닉스 구성원들이 수상자 학교를 직접 찾아가 상패를 전하는 방식으로 포상식을 진행했다.
