윤상복(왼쪽) 넥스틴 부사장, 나성주 자이시스 대표이사가 5일 넥스틴-자이시스 인수합병 협약 체결식에서 양해각서를 교환하고 있다. 사진제공=넥스틴넥스틴이 정전기 제거 기술 업체 자이시스를 인수했다. 이 기술을 탑재한 장비로 고객사의 초미세 공정 수율 확보를 지원할 예정이다.
5일 넥스틴은 자이시스와 인수합병을 위한 양해각서(MOU)를 교환했다고 밝혔다.
자이시스는 반도체 공정 중 웨이퍼 위에 발생하는 정전기를 제거하는 기술을 국내 유일하게 보유한 회사다.
오늘날 칩 미세 공정에서 '정전기'는 상당히 중요한 문제로 떠오르고 있다. 정전기는 ‘머물러 있는 전기’를 말한다. 전기를 활용하는 반도체 공정 중 발생할 수밖에 없는 현상이다.
기존에는 반도체 공정 중 웨이퍼 위에 정전기가 발생하더라도 큰 문제가 발생하지 않았다. 그러나 회로 폭이 7나노(㎚·10억분의 1m) 이하로 좁혀지면서, 움직임을 멈춘 (-) 전기 알갱이가 회로를 망가뜨릴 가능성이 상당히 커졌다.
특히 빛으로 반도체 회로를 반복적으로 찍어내는 노광 공정, 웨이퍼 위 각종 오염물을 씻어내는 세정 공정에서 정전기 현상이 심화하는 것으로 알려진다. 수율이 원가와 직결되는 칩 제조사는 고민이 깊어질 수밖에 없는 상황에 놓였다.
넥스틴은 자이시스를 인수 이후 공정 중 정전기를 효율적으로 제거할 수 있는 장비를 개발할 예정이다. 이 장비를 상용화하면 기존 공정 패러다임에 큰 변화를 줄 수 있다는 넥스틴 측 설명이다. 박태훈 넥스틴 사장은 “극자외선(EUV) 공정을 개발 중인 국내외 반도체 제조사와 협력해 장비를 개발할 계획”이라며 “이번 인수합병으로 주력인 검사 장비 외 첨단 장비 제품군을 늘려나간다는 점에서 의미가 있다”고 밝혔다.
넥스틴은 SK하이닉스, 중국 최대 파운드리 업체 SMIC 등과 거래를 늘려가며 검사 장비 분야에서 입지를 늘려가고 있다.
