세메스 천안 본사 전경. 사진제공=세메스세메스가 11월7일에 제주 국제컨벤션센터(ICC)에서 제9회 대한기계학회-세메스 오픈 이노베이션 챌린지(KSOIC) 행사를 연다고 30일 밝혔다.
KSOIC는 반도체·디스플레이 장비에 관한 공정기술과 초정밀 센서 계측기술 등에 대한 논문 공모전이다. 대한기계학회와 세메스가 2016년부터 공동으로 주최해왔다.
올해는 국내 25개 대학·연구기관으로부터 △생산설비기술 △CAE기술 △계측제어기술 △열·유체·소재 기술 △공정기술 △인공지능(AI)기술 등을 주제로 총 58편의 제안서를 접수받았다. 과제에 대한 문제정의, 창의성, 구현 가능성, 기대효과 등을 종합 평가해 대상 1팀, 금상 2팀 등 총 11개팀을 선정했다.
대상은 초미세 오염물 세정을 위한 나노다공성 마이크로패턴 폴리우레탄 패드를 개발한 전문가그룹 카이스트 기계공학과 김산하 교수 연구팀이 수상했다. 금상은 유체공학부문 한양대 곽노균 교수·서강대 이정우 연구원 팀이 각각 받았다. 정태경 세메스 대표는 “혁신적인 아이디어 공모로 고난이도 반도체 공정설비 개발에 앞장서겠다”고 말했다.
