일양약품(대표 우재영)이 국내 최초로 차세대 반도체 핵심원료인 모노머(Monomer) 개발에 성공했다.18일 일양약품은 1기가(GIGA)및 4GIGA D램(RAM)용 감광액의 핵심원료인 모노머(초순수 전자재료)를 개발했다고 밝혔다. 모노머는 반도체생산공정 중 없어서는 안될 포토레지스트의 원재료다. 일양약품은 올해말까지 모노머 양산체제를 구축, 삼성전자에 독점공급할 예정이라고 밝혔다.
삼성전자측은 모노머를 원료로 ArF 포토레지스트를 개발, 오는 99년부터 양산에 들어갈 계획이다. ArF 포토레지스트의 거래가격은 1갤론(Gal)에 약 1억2천만원선으로 기존의 16메가(M)및 64M DRAM급에 사용되는 i―LINE 레지스트에 비해 약 3백배에 달한다.
일양약품 관계자는 『현재의 16M및 64M DRAM 시대가 곧 1GIGA및 4GIGA DRAM 시대로 바뀌게 됨에 따라 핵심원료인 모노머의 사용이 급속히 확대될 것』이라고 강조했다.<한기석 기자>
