테스가 31일 반도체 제조용 서셉터(susceptor) 유닛 및 이를 통한 실리콘 산화막의 건식 식각방법에 관한 특허를 취득했다는 소식에 급등했다.
테스는 오전 내내 약세를 보이다 오후 들어 상승세로 반전했다. 오후 2시19분께 특허공시가 나오자 장마감 10초를 남기고 850원까지 오르다가 결국 800원(5.71%) 오른 1만4,800원으로 장을 마감했다.
회사측 관계자는 이번 특허에 대해 “이를 반도체 제조장비에 적용하면 동일 챔버 내에서 저온∙고온 두가지 종류의 반도체 제조공정을 모두 수행할 수 있다”며 “작업처리량의 극대화는 물론 기판 이송횟수를 줄여 오염을 최소화할 수 있다”고 밝혔다.
