◎자동표면세정장치 등 2,600만불어치한 중견기업이 개발한 반도체생산 핵심장비가 해외에 처음으로 수출된다.
한국DNS(대표 김광교)는 1일 반도체 일관생산공정의 핵심장비인 감광액도포 현상기, 자동표면세정장치, 스핀 스크러버 등 2천6백만달러어치를 미국에 수출한다고 밝혔다.
감광액 도포현상기는 반도체생산의 사진공정에서 웨이퍼위에 감광액을 바르고 현상액으로 웨이퍼에 회로패턴을 형성시키는 장비이며, 자동표면세정장치는 화학약품으로 각 공정 전후에 웨이퍼의 표면처리 및 오염물질을 제거함으로써 제품의 신뢰성을 높이는 장비다.
이들 장비는 한국DNS가 3년간의 국산화과정을 거쳐 삼성전자·현대전자·LG반도체·아남산업 등 국내반도체생산업체에 공급한 것으로 최근 미국반도체장비안전규격인 S293승인을 획득, 제품력을 대내적으로 인정받았다.
김사장은 『자동표면세정장치는 다조식(multi bath)으로 8인치웨이퍼를 한번에 최대 52장까지 씻을수 있는 것은 물론 처리약액의 종류를 선택해 사용할 수 있다』고 설명했다.<김희중 기자>
