네덜란드 ASM사와 계약직원 30명의 벤처기업이 종업원 7,000여명에 달하는 세계 정상의 대기업에 기술료를 받고 원천기술을 수출하는 개가를 올렸다.
대덕밸리의 반도체 전공정장비 제조 벤처기업 지니텍(대표 이경수ㆍ www.genitech.co.kr)은 네덜란드의 거대 다국적 반도체 장비 업체인 ASM(www.asm.com)과 플라즈마 원자층 증착기술(PEALD : Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) 및 구리 바닥채움 화학증착기술(Cu Superfill CVD)을 기반으로 한 기술 라이센스 계약과 장비 공동개발 및 장비공급에 관한 포괄적인 협력 계약을 체결했다고 23일 발표했다.
이번 계약으로 지니텍은 ASM으로부터 지니텍의 두 가지 기술을 사용하는 조건으로 초기 기술료와 함께 구리 바닥채움 화학증착기술(Cu Superfill CVD) 특허권에 대해 경상 기술료(런닝 로열티)도 지급 받게 된다.
이에 따라 지니텍은 오는 2005년까지 2,000억원대 이상의 매출을 올릴 것으로 전망하고 있다.
지니텍이 이번에 수출한 플라즈마 원자층 증착기술(PEALD)과 구리 바닥채움 화학증착기술(Cu Superfill CVD)은 국제 특허를 취득한 원천 기술이며 지금까지 전세계 반도체 전공정장비 시장의 주류를 이루는 박막장비 시장을 대체할 획기적인 기술로 평가되고 있다.
지니텍은 기술이전으로 개발된 장비에 대해 국내의 시장에서 영업권을 갖게 되며 ASM는 이 외의 지역에서 영업권을 갖게 된다.
이경수 사장은 "반도체 소자의 기반기술에 영향을 미치는 원천기술 이다 보니 기존 시장에서 받아 들이기가 어려웠던 것 같다"면서 "플라즈마 원자층 증착 기술은 향후 10여년 동안 시장에서 영향력을 발휘할 대 기술"이라고 밝혔다.
珉炷? 기자
