한국디엔에스(대표 박창현·朴昌鉉 ·사진)가 국내 최초로 반도체제조의 사진(PHOTO)공정에 사용되는 핵심장비인 종합도포현상기(SPINNER) 개발에 성공했다.8일 한국디엔에스는 1년7개월동안 40억원을 투자해 64메가, 3세대이상의 반도체를 생산할 수 있는 종합도포현상기인 K-SPIN8(사진)을 개발, 시험테스트를 마쳤다고 밝혔다. 이번 개발로 연간 1,500억원이상의 수입대체효과는 물론 대량수출도 기대된다고 덧붙였다
이 장비는 실리콘 웨이퍼에 패턴을 만드는 도포공정및 자외선인 D.U.V를 이용한 노광(露光)이후 웨이퍼 현상에 사용되는 기기다. 반도체제조과정중 전(前)공정(FABRICATION)인 사진(PHOTO)공정의 핵심장비다. 대당 가격은 20억원이상으로 반도체장비중 두번째로 비싸다.
종합도포현상기는 세계적으로 미국의 팔콘, SVG, 독일의 콘백, 일본의 텔, DNS 5개회사만이 생산하고 있는 제품. 이번에 개발된 K-SPIN8은 국내 S반도체메이커의 현장테스트결과 이중 최고효율인 일 텔사 제품의 성능을 능가하는 것으로 검증됐다. 가격은 텔제품의 90%선으로 싸다. 현재 S기업에 3대의 납품계약을 맺었고 미국에도 3대를 수출할 예정이다.
K-SPIN8은 웨이퍼를 옮기는 로봇팔대신 스윙암(SWING-ARM)을 탑재해 내부온도를 균일하게 유지할 수 있다. 한국디엔에스는 이 장비개발과 관련 스윙암 기술을 비롯한 총 7건의 국내외 특허출원을 마쳤다.
이 장비는 기존 제품보다 설치면적(FOOT PRINT)을 40%이상 줄였으며 사용 소프트웨어를 독자개발했다. 기존 장비의 문제점인 노광후 오븐(PEB)의 온도균일및 웨이퍼정체시간관리는 스윙암을 통해 정확히 제어된다. 고속카메라를 장착해 현상액의 양을 정밀조절할 수 있고 현상능력은 15㎚의 균일성을 갖췄다. 도포및 현상의 회대회전수는 각각 6000RPM이다.
한국디엔에스는 도포현상기 개발로 연말까지 약 100억원이상의 추가매출을 올리게 됐다. 또 내년에 약 50~70대를 국내 반도체업체에 공급할 수 있을 전망이다. 이 회사는 93년 설립됐으며 스핀스크러버및 스피너, 웨트스테이션등을 생산해 삼성, 현대, LG, 아남등에 공급해왔다. 지난해 매출액은 450억원이며 올 예상매출액은 550억원이다.
박창현사장은 『이 장비는 설계부터 소프트웨어까지 자체 기술로 개발했고 국산부품을 70%이상 사용했다』며 『독자기술을 꾸준히 개발해 세계적인 반도체장비업체로 성장해나갈 것』이라고 말했다. (0417)550-8000 【천안=이규진 기자】
