최 박사는 반도체 수율 향상에 핵심 요소인 ppb(1 ppb는 10억분의 1) 수준의 극미량 수분표준을 국내 최초로 확립한 공로를 인정받았다. 확립한 수분표준 영역은 이슬점으로 -105℃, 5ppb 수준으로 이는 일반 가정에서 사용하는 가습기 습도의 100만 분의 1에 해당하는 극미량의 수분양이다. 현재 5ppb 수준까지 수분을 정확히 측정하고 제어할 수 있는 기술을 보유한 나라는 미국, 영국, 독일, 일본 등에 불과하다.
연구팀은 향후 산업체가 필요로 하는 수분 영역까지 극미량 수분표준을 확립하기 위한 연구개발에 매진할 계획이다.
