홈 경제·금융 경제·금융일반

참엔지니어링, 플라즈마 처리 장치 특허 취득

입력2013.10.11 18:11:41 수정 2013.10.11 18:11:41

facebook twitter kakao email 복사

뉴스듣기 가 저장

참엔지니어링은 11일 공시를 통해 플라즈마 처리 장치와 처리 방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

관련기사

이번 특허는 기판에 존재하는 이물을 제거하는 플라즈마 처리 장치로써 동일한 처리장치에서 기판 후면 식각 공정 및 기판 베벨 식각 공정의연속적 실시가 가능해 원가 절감과 제품 수율을 향상시킬수 있는 기술이다.

성시종 기자

네이버메인에서 서울경제 구독

<저작권자 ⓒ 서울경제, 무단 전재 및 재배포 금지>

디지털 뉴스

영상뉴스 [집회 르포] '12·12 군사반란'후 45년…"민주주의, 다신 짓밟히지 않길"

영상뉴스 서초대로 사이 두고 조국 찬반집회…실형 확정에 '눈물' '환호' 대비

영상뉴스 당근에서 "응원봉 대여"까지… 정청래 국회 법사위원장도 방문한 집회 현장

영상뉴스 "국힘에 사망을 선고한다" 분노한 MZ…당사 앞 장례식까지 열려

영상뉴스 "응원봉 빛은 꺼지지 않으니까요"… 빛과 노래로 가득한 '尹 탄핵 집회'

영상뉴스 서울경제·소프트런치, ‘독자 맞춤형 AI 뉴스 요약 서비스’ 맞손

영상뉴스 분노한 MZ, 국힘 앞 '정당 장례식'…"'불'편히 잠드소서" 사망 선고

영상뉴스 공군 장성, 국회서 군화 벗고 '폰 게임'…"당신 정신 있어요"

영상뉴스 각양각색으로 목소리 내는 尹탄핵 집회 현장…시위곡에 맞춰 춤추는 사람까지

영상뉴스 시총 144조 증발…탄핵 정국 대혼란

top버튼

팝업창 닫기

글자크기 설정

가나다라마바사

가나다라마바사

가나다라마바사

팝업창 닫기

공유하기

facebook twitter kakao email 복사