NEC에 이어 일본의 반도체 업계 2위인 도시바는 미국의 IBM, 독일의 지멘스와 합작으로 세계 최소규모의 D램 개발에 성공했다고 니혼게이자이신문이 8일 보도했다.신문은 신제품이 소형 트랜지스터와 콘덴서를 사용하는 것외에 트랜지스터안에 연결 소자를 포함하는 등 두 가지 특징을 갖고 있다고 소개했다.
도시바는 최소형 D램 개발의 성공으로 실리콘 웨이퍼당 생산량은 늘어나는 반면 생산비가 약 20%로 크게 절감될 것으로 내다보았다. 아울러 64메가비트 D램의 월간생산능력이 99년 봄 생산추정량보다 60% 늘어난 1,300만개에 달할 전망이다.
도시바는 신형 D램 개발과는 별도로 반도체업계에서 처음으로 회로선굵기를 최소 0.18미크론까지 줄일 수 있는 미세가공 설비를 도입할 계획이다. 이에따라 30㎟ 크기의 64메가 D램 생산은 물론 60㎟크기의 128 메가 D램을 집적시킬 수있게 됐다.
