주성엔지니어링(대표 황철주)은 6세대 LCD용 플라즈마 화학증착장치(PECVD)를 개발해 곧 양산에 도입할 예정이라고 5일 밝혔다.
LCD용 플라즈마 화학증착장치는 LCD 표면에 플라즈마로 구성된 얇은 막을 씌우는 장치. 이 부품은 과거 외국계 회사가 거의 독점 공급해 왔으나 주성이 관련 장치를 개발하며 본격적인 국산화가 이뤄졌다.
이번에 개발된 장치는 기존제품보다 기판의 크기는 크면서도(1,500mm, 1,850mm/신문 6장을 펼친 크기) 5세대와 같은 플라즈마막 균일도를 확보한 것이 장점이다. 동시에 생산성은 5세대 장치보다 25% 증가됐다고 회사측은 밝혔다. 대당 가격도 5세대 장치보다 25~50% 정도 높다.
회사 관계자는 “이번 장치 개발로 향후 7세대 장치 개발기간도 단축돼 세계 시장에서의 경쟁 우위를 확보할 수 있을 것”이라고 말했다.
한편 주성엔지니어링은 지난 해 국내 최초로 5세대 LCD용 PECVD장치를 개발하며 양산에 성공한 업체다. 최근 국내 및 미국, 유럽 등지에 원자층 증착장치(ALD) 및 화학 증착장치(CVD) 공급해 왔으며 오는 10월에는 대만 CMO社에 5세대용 PECVD장치를 공급할 예정이다.
<현상경기자 hsk@sed.co.kr>
