휴대폰이나 천연색 야외전광판등의 제작에는 화합물 반도체가 사용된다. 이 화합물반도체를 만드는 데는 에피웨이퍼라는 재료가 꼭 필요하다.에피플러스(대표 박해성)는 각종 화합물반도체 소자용 에피웨이퍼만을 전문으로 연구, 개발하는 업체.
에피웨이퍼란 반도체를 만드는 재료인 단결정 기판위에 두께가 머리카락의 최고 80만분의1 정도로 얇은 박막을 10개층 내외로 쌓아올린 것이다.
이러한 작업은 전자현미경으로만 볼 수 있을 만큼 초정밀한 기술을 필요로 한다.
회사측은 자체 개발한 에피웨이퍼가 양산되면 수년내 수백억원대의 수입대체가 가능할 것으로 기대하고 있다.
최근 정보통신 산업 활성화로 화합물 반도체 수요도 폭발적으로 증가하고 있을 뿐 아니라 에피웨이퍼의 수요도 급증하고 있는 추세이기 때문.
박해성 사장은 "화합물 반도체는 실리콘 반도체와는 다르게 거의 모든 소자 제작에 에피웨이퍼를 필요로 한다"며 "에피웨이퍼의 품질에 따라 소자의 성능이 대부분 결정되기 때문에 소자 제작에 있어 가장 중요한 핵심 공정중 하나"라고 중요성을 강조했다.
이 회사는 우선 휴대폰이나 무선통신용 전력증폭기에 사용되는 HBT(고속 신호처리를 위한 이종접합트랜지스터)용 갈륨비소 에피웨이퍼와 전광판등에 사용되는 청ㆍ녹색 발광소자용 질화갈륨 에피웨이퍼를 개발, 생산할 계획이다.
국내에는 갈륨비소HBT와 같은 화합물반도체 전자소자를 제조하는 업체들은 있지만 그에 필요한 갈륨비소HBT용 에피웨이퍼는 국내에서 생산하는 업체가 한군데도 없어 전량 수입에 의존하고 있는 실정이다.
박사장은 "현재 국내 처음으로 HBT용 6인치 갈륨비소 에피웨이퍼를 양산할 체제를 갖췄고 4인치도 양산이 가능한 상태"라며 "질화갈륨 에피웨이퍼는 양산공정이 안정화 단계에 있어 다음달부터는 시제품을 생산, 관련업체에 납품할 예정"이라고 밝혔다.
에피플러스는 지난해 산업자원부에서 실시한 부품소재 기술개발 사업에 응모, 'HBT용 6인치 에피웨이퍼 개발' 과제 주사업자로 선정됐다. 이를 위해 정부출연금 14억원과 자체부담금 4억원을 합해 총 개발비 18억원을 투자할 계획이다.
삼성종합기술원 출신인 박해성 사장과 박형수 박사, 정현돈 박사 3명이 의기투합해 지난해 5월 회사를 설립했다. 직원수는 11명, 자본금은 22억원이다. 지난해 12월 다산벤처, 산은캐피탈, 신보창투, KIT창투등에서 14억원을 투자받았다.
류해미기자
