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주성엔지니어링, 반도체 관련 3종 특허 취득

입력2010.11.08 13:13:52 수정 2010.11.08 13:13:52

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주성엔지니어링은 8일 리프트핀 지지대, 반도체 웨이퍼 제조장비의 히터블록, 산화알루미늄막의 원자층증착방법 등에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.

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