LCD 장비 업체인 AKT는 8세대 플라즈마 화학증착장비(PECVD)인 'AKT-50K'를 개발했다고 19일 밝혔다.
이 장비는 2,160mm x 2,400mm 크기의 유리기판 1장당 6장의 LCD용 52인치 평판 TV 스크린을 생산할 수 있어 생산능력이 7세대 장비의 2배에 달한다.
PECVD는 박막 트랜지스터(TFT) 제조를 위해 막을 입히는 데 사용하는 LCD 제조공정의 핵심 장비다.
AKT는 이미 8세대 LCD라인을 준비중인 LCD패널 제조업체로부터 이 장비의 제작주문을 받았으며 내년초 공급할 예정이라고 설명했다.
(서울=연합뉴스) 김지훈 기자
