테스는 반도체 제조용 챔버에 관한 특허를 취득했다고 8일 공시했다. 이번 특허는 챔버에 결합된 각종 모듈의 유지 및 보수작업이 쉽도록 개선한 것으로 향후 원가경쟁력 강화에 도움이 될 것으로 전망된다.