“이번에 성공한 고성능 나노 SOI 공정기술 개발을 통해 원자재 및 공정설비 분야마저 국산화 함으로써 차세대 반도체 산업에서도 우리나라가 우위에 설 기반이 마련된 것으로 생각합니다.”
박재근 교수는 반도체의 집적도를 최대한으로 높임으로써 한국 반도체 역사를 다시 쓴 주역으로 기록될 것으로 보인다.
박 교수는 이미 흠 없는 반도체 소자인 무결정 결함 웨이퍼 및 중금속 오염을 스스로 정화하는 슈퍼실리콘 웨이퍼를 세계 최초로 개발해낸 데 이어 이번에 IBM이나 인텔 등 거대 반도체 업체들도 성공하지 못한 나노 SOI 기술을 개발하는 데 성공한 것이다.
박 교수는 대학 졸업 후 삼성전자에 입사한 전자공학분야 엔지니어 출신이다. 삼성에서 해외 유학생에 선발돼 미국 유학중 재료공학을 공부했다. 회사로 복귀해 98년 무결정 무결함 웨이퍼를 세계 처음으로 개발함으로써 1억원이라는 보상금을 받기도 했다.
이후 대기업을 마다하고 학교(한양대)로 옮긴 것은 순수한 연구열정 때문이었다. 그는 이에 대해“자유로운 연구활동을 보장 받을 수 있고 다른 분야와의 공동연구도 편리하다는 면에서 대학이 훨씬 낫다”고 설명했다.
박 교수는 다음 연구로 테라비트급 차세대 비휘발성 메모리 소자 개발계획을 세우고 있다. 그는 “이 사업이 완료되는 2012년까지는 계속 바쁠 것”이라고 말했다. 세계 반도체 업계가 그의 다음 성과에 촉각을 곤두세우고 있다.
◇약력
▦84년 동아대 전자공학과
▦94년 미국 노스캐롤라이나주립대 재료공학 박사
▦85~98년 삼성전자 근무
▦98~01년 삼성전자 기술고문
▦99년~현재 한양대 교수
▦02년~현재 과기부 국가지정 나노 SOI 연구실장
▦04년~현재 산자부 테라비트급 비휘발성 메모리 개발사업단장
