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테스, 반도체 장비용 실리콘나이트라이드막 관련 특허 취득

입력2017.04.25 14:02:05 수정 2017.04.25 14:02:05

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코스닥 상장사인 테스(095610)가 실리콘나이트라이드막의 건식식각방법에 대한 기술로 특허를 취득했다고 25일 공시했다.

이는 반도체 장비에 적용되는 기술이다.

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유주희 기자

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