홈 증권

테스, 반도체 장비용 실리콘나이트라이드막 관련 특허 취득

입력2017.04.25 14:02:05 수정 2017.04.25 14:02:05
facebook twitter kakao email 복사
뉴스듣기 가 저장

코스닥 상장사인 테스(095610)가 실리콘나이트라이드막의 건식식각방법에 대한 기술로 특허를 취득했다고 25일 공시했다.


이는 반도체 장비에 적용되는 기술이다.

관련기사





유주희 기자
<저작권자 ⓒ 서울경제, 무단 전재 및 재배포 금지>
더보기
더보기
top버튼
팝업창 닫기
글자크기 설정
가나다라마바사
가나다라마바사
가나다라마바사
팝업창 닫기
공유하기
facebook twitter kakao email 복사