엘오티베큠(083310)은 24억원 규모 반도체 공정용 플라즈마 전처리시스템 및 건식 진공 펌프 공급 계약을 체결했다고 13일 공시했다.계약 상대방은 삼성전자다. /박호현기자 greenlight@sedaily.com