증권 종목·투자전략

테스, 플라즈마 처리 장치 특허권 취득

반도체 제조용 기계 제조업체 테스(095610)가 플라스마 처리장치 및 이를 이용한 탄소막의 증착 방법에 대한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.

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박경훈 기자
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