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테스 “반도체 기판 처리장치 등 특허권 취득”

테스(095610)가 반도체 장비에 적용되는 기판처리장치 및 그 세정방법 기술에 대해 특허권을 취득했다고 1일 공시했다.

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이완기 기자
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