나노종합기술원이 코리아스펙트랄 프로 덕츠‘KSP’와 공동연구를 통해 상용화한 광진단 센서. 사진제공=나노종합기술원나노종합기술원이 코리아스펙트랄 프로 덕츠‘KSP’와의 공동연구를 통해 그 동안 수입에 의존하던 ‘반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품’ 기술자립화에 성공했다.
광 진단센서(Optical Diagnostic Sensor)는 반도체 제조 공정 중 사용되거나 배출되는 가스들에 의하여 나타나는 빛의 발광 혹은 흡수 스펙트럼 분석을 통해 제조 장비 상태와 공정 이상 등을 실시간 비접촉식 방법으로 진단할 수 있는 핵심 부품이다.
이번 개발제품은 높은 측정 정밀도 특성은 물론, 차세대 반도체의 높은 품질 유지와 수율 확보에 필수적인 첨단분석 기능인 스마트 공정 제어를 갖춘 제품으로 미국 등 해외 수입에 의존하던 반도체 장비용 센서 부품의 국산 대체가 가능해질 전망이다.
반도체 측정 장비 및 센서 시장은 공정 미세화와 대면적화, 다양화 추세 등에 따라 글로벌 시장에서 경쟁이 치열한 분야로 현재까지는 해외 기업이 높은 시장 점유율을 확보하고 있었으나 이번 상용화를 통해 관련 제품 국산화 및 해외 수출이 기대된다.
반도체 생산기업은 고집적·초미세화 공정이 적용된 반도체 생산을 위해 정밀한 측정 성능과 스마트 공정제어가 가능한 고성능 진단 센서를 요구하고 있으나 이를 개발하고 있는 중소기업은 반도체 생산기업에서 개발제품 테스트 지원을 받을 수 없어 반도체 기업에서 요구하는 제품사양을 충족하는 제품개발이 불가능했다.
KSP는 반도체 테스트베드 기관인 나노종기원과의 공동 개발을 통해 최종 수요기업 납품을 위한 성능기준인 정밀도 및 스마트 공정제어 기능을 충족하는 제품 개발에 성공했다.
KSP 관계자는 “나노종기원과의 협력을 통해 세계최고 기업과 경쟁할 수 있는 혁신제품 개발에 성공할 수 있었다”며 “개발제품은 지난해 12월 국내 반도체 생산라인 장비에 설치돼 시험평가으로 올해부터 본격적인 매출발생이 기대된다”고 밝혔다.
나노종합기술원 이조원 원장은 “이번 국산화 성과는 테스트베드를 활용한 반도체 부품 상용화 성공사례로 향후 반도체 장비·부품 실증평가를 위한 테스트베드 추가 구축 등을 통해 국가 반도체 부품산업 육성에 기여할 계획”이라고 밝혔다.
/대전=박희윤 기자 hypark@sedaily.com
