삼성전자 평택캠퍼스 그린동 조감도 /삼성전자 블로그 캡처삼성전자가 22일 ‘세계 물의 날’을 앞두고 21일 블로그에 최대 반도체 생산 기지인 평택캠퍼스의 첨단 폐수 처리 시설인 ‘그린동’의 모습을 최초로 공개했다.
평택캠퍼스는 삼성전자가 조성중인 세계 최대 규모의 반도체 생산 시설로, 현재까지 P1·P2공장이 완공됐으며 P3 라인 건설 공사가 진행중이다. 공개된 그린동은 반도체 제조 과정에서 발생하는 폐수를 깨끗하게 처리해 폐수종말처리장으로 보내는 역할을 한다.
그린동의 지하수처리 시설의 단면적은 약 3만4,000제곱미터(㎡)로, 서울월드컵경기장 잔디 구장 면적의 약 3.7배에 달한다. 이곳에서는 하루에 반도체 생산으로 발생한 약 7만톤의 폐수를 정화한다. 이는 캐리비안베이 하루 담수량(1.5만톤)의 약 4.7배 규모다.
삼성전자는 이곳에 최첨단 폐수 처리설비를 갖췄다고 소개했다. 반도체 공정에서 발생하는 폐수는 성분에 따라 크게 6가지로 나뉘는데 이중 알칼리성 폐수를 처리하는 과정에서 화학약품인 과산화수소 대신 활성탄을 이용해 필터링하는 친환경 공법을 적용했다.
그린동 중앙통제실(CCR)에서는 폐수 정화부터 방류까지 모든 처리 과정을 실시간으로 모니터링한다. 그린동의 자동화율은 97%에 달한다.
삼성전자 관계자는 “반도체 공정에서 발생한 폐수 처리가 ‘반도체 생산의 마지막 단계’라는 생각으로 각별히 신경쓰고 있다”고 밝혔다.
/전희윤 기자 heeyoun@sedaily.com
