넥스틴 이지스 장비. <사진=넥스틴>넥스틴이 대전 나노종합기술원에 갖춰진 12인치 웨이퍼 테스트베드에 검사장비를 납품한다. 테스트베드 서비스 품질 향상은 물론 국내 소부장 업체 간 협력이 더욱 확대될 기회가 될 것으로 기대된다.
토종 검사 장비 업체 넥스틴은 나노종합기술원에 자사 검사장비 '이지스(AEGIS)'를 납품한다고 2일 공시했다. 계약 금액은 28억원이다.
넥스틴이 장비를 납품한 대전 나노종기원의 12인치 반도체 테스트베드는 올해 3월 공식적으로 서비스를 시작했다.
지난 2019년 일본의 대한국 수출규제 이후 국내 소재·부품·장비(소부장) 자립 분위기가 형성된 후 정부에서 추진한 후속 조치다.
300평 규모 이 공간에는 ASML 불화아르곤 이머전(ArFi) 노광장비, 화학증착공법(CVD) 장비, 식각 장비 등 10대의 12인치 반도체 제조용 장비가 설치됐다.
다만 업계에서는 각종 소재로 테스트를 진행한 뒤 각종 이물질 여부를 검사하는 검사 장비, 소위 파티클 카운터(PC)가 없다는 지적이 있었다.
이물질 검사는 양산 라인 도입 가능성을 결정짓는 중요한 과정이지만, 테스트베드에 이 작업을 할 수 있는 장비가 없다면 '반쪽짜리' 테스트베드가 될 수 있다는 우려였다.
넥스틴은 이러한 의견을 수렴해 검사 장비 구매를 추진한 나노종기원과 협력해 관련 장비를 납품한다. 넥스틴 장비 이지스는 2D 이미징 기술을 바탕으로 10나노대 결함까지 검사할 수 있는 장비다.
업계에서는 이번 장비 구축이 테스트베드 서비스 질 향상은 물론, 토종 장비 활용으로 관련 소부장 업체 간 협력도 활발해질 기회로 보고 있다.
넥스틴 관계자는 "회사 장비 공동활용을 통해 연구 개발을 지원하고, 중소벤처기업의 제품 상용화와 창업을 도울 수 있을 것으로 기대된다"고 전했다.
/강해령 hr@sedaily.com
