이재용(오른쪽) 삼성전자 회장이 지난 6월 유럽 출장 중 ASML 네덜란드 본사를 방문해 페터르 베닝크 ASML CEO와 만나 기념촬영했다. 사진제공=삼성전자페터르 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)가 16일 이재용 삼성전자 회장을 만나 반도체 사업에 대해 전방위적으로 논의한다. 베닝크 CEO는 내년 한국에 칩 위탁생산(파운드리), 메모리 제조용 첨단 극자외선(EUV) 노광기가 늘어날 것이라고 언급했다.
베닝크 CEO는 15일 오전 서울 인터컨티넨탈 서울 코엑스 호텔에서 열린 ASML의 화성 ‘뉴 캠퍼스’ 관련 기자 간담회 이후 취재진과 만나 이번 출장에서 이 회장을 회동하느냐는 질문에 “우리는 항상 고객을 만난다”며 “정상적으로 서로 볼 것”이라고 답했다.
이 회장과 베닝크 CEO는 오는 16일 만날 것으로 보인다. 이들은 지난 6월 이 회장의 유럽 출장 당시 ASML 네덜란드 본사에서 회동한 후 약 5개월 만에 만나는 것이다. ASML이 세계에서 독점 생산하는 2000억원 상당의 EUV 노광기 공급 이슈와 반도체 시장 전반에 대한 심층적인 논의를 나눌 것으로 예상된다. 베닝크 CEO는 기자 간담회에서 이 회장과 회동 시 어떤 이야기를 나누느냐는 질문에 대해 “사업 환경에 대해 광범위한 대화를 한다”며 “수년동안 인연을 쌓아왔기 때문에 사적 이야기도 한다”고 밝혔다.
베닝크 CEO는 16일 열릴 ASML의 화성 반도체 클러스터 기공식 참석을 위해 한국을 찾았다. ASML은 경기 화성시 1만6000㎡ 부지에 재제조 센터, 노광 장비 트레이닝 센터 등을 포함한 새로운 사옥을 2024년 설립한다. 기공식 참석 이후 베닝크 CEO는 삼성전자 최고위 경영진 외에도 SK하이닉스 등 ASML 주요 고객사 경영진과 만날 것으로 보인다.
베닝크 CEO는 국내로 들어오는 EUV 노광기 수가 올해보다 증가할 것이라고 밝혔다. 그는 "구체적인 숫자는 언급하기 어렵지만 메모리, 파운드리 분야 등에서 EUV 노광기 공급량이 늘어날 것"이라고 밝혔다. 현재 글로벌 반도체 업계는 EUV 노광 장비를 확보하기 위해 치열한 경쟁을 벌이고 있다. 메모리, 파운드리 분야에서 EUV 노광 기술을 도입한 삼성전자는 30여대 이상, SK하이닉스는 5대 미만의 장비를 도입한 것으로 알려졌다. ASML은 연간 40대 내외의 EUV 노광기 생산 능력을 2026년까지 연간 90대, 성능을 고도화한 하이-뉴메리컬어퍼처(High-NA) 장비는 2028년 20대 이상 생산하는 것을 목표로 하고 있다.
베닝크 CEO는 “내년까지 주문과 출하량을 보면 수요에는 문제가 없다”며 “협력사와 더 많은 장비를 생산하도록 노력하겠다”고 설명했다.
