중소기업청 산하 국립기술품질원은 반도체 레이저 측정장치를 개발하기 위해 일본공업기술원과 「산업용 3차원 계측기술에 관한 연구」를 공동진행키로 하고 한일간에 합의서를 교환했다고 10일 밝혔다.이번에 합의된 공동연구는 올해부터 3년간 수행되며 한일 양측이 5억원의 연구비를 공동부담하게 된다. 반도체 레이저 측정장치는 기존의 기체 레이저에 비해 소형이면서도 정밀도가 뛰어난 것이 특징으로 정밀 계측기의 시험·교정과 반도체 제조장치의 미세가공 위치 결정, 수치제어(NC) 공작기계류의 이송량 제어확인 등 정밀계측분야에 활용된다.<최원용>
