주성엔지니어링은 고주파 전원공급장치에 관한 특허를 취득했다고 15일 공시했다. 회사 관계자는 “이번 특허는 전력을 안정적으로 공급하여 균일한 플라즈마를 발생시키는 장치에 대한 것으로 반도체, FPD, 태양전지 장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
