탑엔지니어링(065130)은 22일 탄소나노튜브(CNT)가 코팅된 디스펜서용 스테이지의 특허권을 취득했다고 자율 공시했다.
이는 전도성 물질인 CNT를 주 재료로 한 도포막을 작업 스테이지 본체에 코팅함으로써, 도포막의 면저항이 낮아져 정전기 방지효과가 좋아지고 기판의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다고 회사측은 설명했다.
또한 기존 불소가 아닌 CNT가 함유된 도포막은 비용이 절감되는 효과가 있다고 회사측은 덧붙였다.
이번 특허는 탑엔지니어링과 탑나노시스가 공동출원했다.
회사 관계자는 “CNT 코팅막 사용으로 기술적 효율이 높아져 평판디스플레이(FPD) 공정 장비의 경쟁력 강화가 예상된다”고 말했다.
