테스는 반도체 제조장치에 대한 특허를 취득했다고 5일 공시했다. 이번 특허는 공정 가스의 불안정한 기류 발생을 방지하고, 열 손실을 방지하여 기판 상에 증착되는 박막의 균일성을 향상시킬 수 있어, 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 기술 및 원가경쟁력 강화가 기대된다고 회사측은 설명했다.
