홈 경제·금융 경제·금융일반

주성엔지니어링, 실리콘 나이트라이드 증착법 특허 취득

입력2010.10.13 14:27:36 수정 2010.10.13 14:27:36
facebook twitter kakao email 복사
뉴스듣기 가 저장

주성엔지니어링은 기존 방식보다 속도와 공정효율을 높일 수 있는 실리콘 나이트라이드의 원자층 증착 방법에 관한 특허를 취득했다고 13일 공시했다.

관련기사



이재유 기자
<저작권자 ⓒ 서울경제, 무단 전재 및 재배포 금지>
더보기
더보기
top버튼
팝업창 닫기
글자크기 설정
가나다라마바사
가나다라마바사
가나다라마바사
팝업창 닫기
공유하기
facebook twitter kakao email 복사