테스는 식각공정 중에도 일정한 온도를 유지하는 기판처리장치 특허를 취득했다고 31일 공시했다. 테스 관계자는 “이 기판처리장치를 적용하면 식각공정 중에 기판이 일정한 온도로 유지될 수 있어 공정이 효과적으로 수행된다”며 “특히 식각부산물이 파우더 형태로 챔버에 응축되는 것을 효과적으로 방지해 기판의 제조품질을 향상시킬 수 있다”고 설명했다. 이어 “이번 특허를 식각장비 제조때 적용해 기술 및 원가경쟁력을 강화할 것”이라고 덧붙였다.
