에스엔텍, 태양광 반도체 핵심장비 개발

에스엔텍, 태양광 반도체 핵심장비 개발 '스퍼터 음극기술' 기존 제품 비해 사용 효율 30% 높아10월말 대형 디스플레이 업체와 장비 개발 기술 제휴 이유미 기자 yium@sed.co.kr ImageView('','GisaImgNum_1','default','260'); 태양전지 및 반도체 공정장비 전문업체인 에스엔텍이 박막형 태양광 반도체의 핵심장비인 스퍼터 음국기술을 개발, 본격적인 보급에 나선다. 에스엔텍은 기존 제품에 비해 사용효율을 30% 이상 높이고 비용을 절감할 수 있는 원형 타깃(cylindrical target) 방식의 스퍼터 음극기술을 개발했다고 22일 밝혔다. 회사측은 내년초부터 타깃방식을 도입한 인라인 스퍼터 장치인 ILS5000시리즈 양산에 돌입해 내년 상반기에만 모두 250억원 규모의 수주를 달성할 계획이다. 에스엔텍은 해당기술을 이용해 이달말께 대형 디스플레이 업체와 하이브리드 태양광장비 개발을 위한 기술제휴를 맺을 예정이다. 안경준 대표는 “최근 태양전지 시장에 대해 버블우려가 제기되고 있지만 차별화된 기술만 갖고 있다면 여전히 블루오션으로 남아있다”면서 “관련기술에 대해 현재 특허출원을 진행하고 있다”고 말했다. 스퍼터링 증착 방식과 관련해 ‘타깃’은 박막증착 장치이며, 이는 박막형 태양광 반도체 분야의 전면 투명전도막(TCO)과 후면 반사막 및 전극 형성에 널리 사용되고 있다. 기존의 평면 타깃(planar target) 방식으로는 30% 밖에 사용 효율을 향상시키지 못하는 반면, 원형 타깃방식을 도입할 경우 70% 이상의 고효율이 가능한 스퍼터 장치를 개발할 수 있다고 회사측은 설명했다. 아울러 원형 타깃 방식이 접목된 인라인 스퍼터의 경우 평면 타깃방식보다 사용기간이 두 배 이상 길어 가격절감 효과도 기대할 수 있다. 혼자 웃는 김대리~알고보니[2585+무선인터넷키]