코미코는 용사코팅방법 및 이를 이용한 정전척 제조방법 및 정전척에 대한 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.
이번 특허는 정전척 제조에 있어 하부 유전층을 형성시에는 몸체를 세운 상태에서 용사코팅방법으로 용융물질을 증착하고, 상부 유전층을 형성시에는 몸체를 바닥에 눕힌 상태에서 용사코팅방법으로 용융물질을 증착하는 기술이다.
하부유전층 형성시 발생한 미용융물질은 용사진행도중 바닥으로 떨어져서 하부 유전층의 기공율을 높이게 되며, 상부유전층 형성시 발생한 미용융물질은 용사층상에 그대로 남아 있어 상부 유전층의 기공율이 낮아지게 된다고 회사측은 설명했다.
코미코 관계자는 “고로 용사법으로 유전층 형성시, 몸체의 배치 상태에 따라 유전층의 기공율이 달라진다”고 설명했다.
코미코 관계자는 이번 특허를 LCD용 하부전극 제조 등에 활용할 계획이라고 밝혔다.
