주성엔지니어링은 액정표시장치용 증착 장치에 대한 특허를 취득했다고 31일 공시했다. 이번 특허는 반응가스를 균일하게 분산시킬 수 있는 증착 장치에 관한 특허로 반도체, FPD, 태양전지 장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획이라고 회사측은 설명했다.
